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什么是MO源?MO源国内主要提供厂商有哪些?

MO源 (metalorganic source)种类繁多,在研究和生产中使用过的MO源超过70多种, MO源概念已超出金属有机化合物的范围,现在MO源的含义应是:凡在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物统称为MO源,因此MO源在外国文献中常笼统地称为“MOCVD的前体物(Precursor)”。

但是在化合物半导体材料研发和生产中,除Ⅴ、Ⅵ族元素的氢化物(如NH3、AsH3、H2Se等)外,MOCVD工艺使用的高纯基础材料主要是Ⅱ、Ⅲ族的金属有机化合物(如TMGa、DMCd等)和Ⅴ、Ⅵ族元素有机化合物(TBP、TBAs等),目前在MOCVD工艺中使用的Ⅴ、Ⅵ族材料仍是元素的氢化物为主。

据我所知,中国做的最好的应该是南大光电了。

江苏南大光电材料股份有限公司(股票代码:300346),成立于2000年,坐落于苏州工业园区,是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业 ,主要产品有MO源、特种气体(砷烷、磷烷)、安全源(负离子注入源)等。

南大光电是目前国内唯一MO源大规模产业化生产的企业,亦是全球四大MO源制造商之一。

南大光电拥有完善的质量管理体系,公司已经通过ISO9001:2008质量管理体系认证、ISO14001:2004环境管理体系认证以及OHSAS18001:2007职业健康与安全管理体系认证。

公司产品得到全球用户广泛认可,已经成功进入了中国大陆、台湾地区、韩国、美国、日本、欧洲等主要市场。

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